Die Rasterelektronenmikroskopie (englisch: Scanning Electron Microscopy = SEM) in Verbindung mit der energiedispersiven Röntgennanlayse (englisch: Energy-Dispersive X-Ray Analysis = EDX) vereint zwei Methoden in einem Instrument.

Rasterelektronenmikroskopie beruht auf den selben Abbildungsprinzipien wie ein optisches Mikroskop. Allerdings werden statt Lichtwellen, Elektronen zur Beleuchtung verwendet. Dadurch können wesentlich kleinere (wenige nm) Strukturen untersucht werden. Statt herkömmlicher optischer Linsen werden magnetische Felder zur Fokusierung des Elektronenstrahls eingesetzt. Zusätzlich zur Rasterelektronenmikroskopie kann mit diesem speziellen Gerät EDX an jedem beliebigen Merkmal auf der Oberfläche durchgeführt werden. Somit erhält man neben der Topographie auch Informationen über die chemische Zusammensetzung der untersuchten Oberfläche.

Stärken der Technik

  • Darstellung der Oberflächentopographie- und struktur bei extremer Vergrösserung
  • Sehr hohe Auflösung
  • Qualitative und quantitative Bestimmung der chemischen Zusammensetzung beliebiger Abbildungsmerkmale
  • Anwendbar auf alle Materialien
  • Ideal zur Qualitätskontrolle

Materialien & Geometrien

  • Leitende & isolierende Proben (Dank VPSEM Technologie)
  • Durchmesser: 95 mm/Höhe: max. 10 mm

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