vase

Die Variable winkelgestützte spektrale Ellipsometrie (englisch: Variable Angle Spectral Ellipsometry = VASE) bietet eine einzigartige kontaktfreie Möglichkeit nicht nur Schichtdicken zu bestimmen, sondern liefert gleichzeitig auch Rückschlüsse auf die optischen Eigenschaften der untersuchten Oberfläche.

Bei Ellipsometrie wird die Probenoberfläche mit weissem Licht bestrahlt (von 240nm bis 1000nm). Wechselwirkungen mit der Probe (Reflektion, Absorption, Streuung oder Transmission) führen zu einer Änderung der Polarisation des Lichtes, die anschliessend Wellenlängen aufgelöst detektiert wird. Dieses Signal hängt gleichzeitig von der Schichtdicke und den optischen Eigenschaften des untersuchten Materials ab. Daher können mit Ellipsometrie sowohl die Schichtdicke als auch die optischen Eigenschaften einer Beschichtung analysiert werden. Der besondere Vorteil an VASE gegenüber monochromatischer Ellipsometrie ist die breite Abdeckung an Wellenlängen, die eine grosse Menge an Daten liefert. Dadurch können genauere Modelle berechnet, sowie mehrere unabhängige Parameter gleichzeitig bestimmt werden.

Stärken der Technik

  • Schichtdickenbestimmung von Subnanometer bis mehrere Mikrometer
  • Berechnung von Oberflächenrauigkeiten
  • Messung des Brechungsindex
  • Messung der elektrischen Leitfähigkeit
  • Anwendbar auf organische und anorganische Materialien

Materialien und Geometrie

  • Plane und reflektierende Oberflächen
  • Leitende & isolierende Proben
  • Abmessungen fester Proben: maximale Höhe ca. 1 cm; Länge x Breite: max. 25 X 25 cm
  • Spot-Size: mit Focusing-probes 200 µm, ohne 0.5 cm

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